曝光机中UV灯作业原理
发布日期：2018-09-18
曝光机中UV灯作业原理
什么是曝光机：
曝光机即电子束曝光机，是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的杂乱的半导体加工设备。
曝光机根本作业原理：
在计算机的控制下，运用聚集电子束对有机聚合物(一般称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在必定的溶剂中构成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上构成精细图形。
曝光机的运用规模：
半导体出产线、微电子出产、LCD显现、LCD显现、线路板出产、PCB产品。
散光曝光机的特色：
1、散光机曝光时灯光是直接照射的，好像电灯相同，双面曝光时上下灯是一起曝光的，
2、平行曝光机不可以曝阻焊油墨。
平行曝光机的特色：
平行曝光机只要一个灯管，曝光台面上下方有双面镜子，运用折射原理，双面一起曝光时，上下灯是分隔曝光的，先曝上灯，一面镜子将光反到台面上方镜子上再折射到曝光台面，曝下灯时，光直射到下方镜子上再折射到台面上，所以用平行曝光机曝光，上灯能量必定要比下灯能量大些，曝光级数才能相同
